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OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉系统

应用范围:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源,直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统,且设备性价比较为理想。

产品型号:

上架时间 :2019-12-09

安装尺寸:1500mm L´600mm W´1200mm H

重量:160 kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源,直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统,且设备性价比较为理想。

 性能指标和基本配置
设备名称 小型滑动PECVD管式炉系统—OTF-1200X-50S-PE-SL (2019.12.23—科晶实验室审核)
产品特点 ● 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;
● 可通过炉体滑动达到快速升温和降温;
● 可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力;
● 可通过工艺调节来控制化学计量;
● 可沉积各种材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。
加热炉参数 ● 最高温度:1100℃(<30min);连续工作温度:1000℃;
● PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃;
● 输入电源:208- 240V AC,功率:1.2KW;
● 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命
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更多参数请联系科晶销售部
射频电源 ● 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。
300W射频电源 500W射频电源 100W射频电源
输出功率 0-300W可调(稳定性:±1%) 0-500W可调(稳定性:±1%) 0-100W可调(稳定性:±1%)
射频频率 13.56 MHz(稳定性:±0.5%) 13.56 MHz(稳定性:±0.5%) 13.56 MHz(稳定性:±0.5%)
匹配 自动匹配 自动匹配 手动匹配
噪音 <50dB <50dB <50dB
冷却方式 风冷 风冷 风冷
输入电压 AC180-250V AC108-250V AC110-240V
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真空系统 ● 采用TRP-12的双旋真空泵;
● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;
● 真空度可达10-2Torr。
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供气系统 ● 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);
● 流量范围:
一路 0-100 sccm
二路 0-200 sccm
三路 0-200 sccm
四路 0-500 sccm

● 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;
● 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;
● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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产品尺寸和重量 ● 尺寸:1500mm L´600mm W´1200mm H
● 净重:160 kg
● 运输重量:220 kg
认证 ● CE认证
● 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证
● 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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承诺 ● 一年质保期,终身维护
● 特别提示:(1)耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内;
              (2)因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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